CCCL01微纳尺寸测量仪
将显微成像与传统影像测量相结合，实现了微小特征的大范围测量。配置电动变倍镜头，可自动切换到不同的倍率，探测各种精密微观二维尺寸特征。测量仪功能丰富，拥有自动调色增强图像效果功能，满足大范围测量拼图功能，实现自动抓取拟合测量功能，可进行各种二维尺寸点、线、圆等的测量和形位公差的评价，可进行各种段差、角度、平面度测量。
CCCL01微纳尺寸测量仪可用于印制电路板微切片、精密机械零件、晶圆刻蚀微结构、光通讯器件、精密模具、磁性材料、精密冲压、手机精密配件、医疗器械、钟表、刀具、计量检测等领域。
型号 | CCCL01 | |||
物镜 | 10X | 20X | 50X | |
图像传感器 | 高清工业像机 | |||
显示器 | 24英寸 LCD显示器（XGA：1920×1080） | |||
单视场范围 | 0.35×0.42mm | 0.17×0.21mm | 0.07×0.08mm | |
横向分辨率*1 | 0.2μm | 0.1μm | 0.05μm | |
测量精度*2 | 单视场 | ±0.03μm | ±0.02μm | ±0.01μm |
运动轴Ex/Ey | ±（2.0+0.01L）μm | |||
单视场重复精度*3 | ±0.1μm | ±0.1μm | ±0.05μm | |
高度测量*4 | 测量精度 | ±（2.0+0.01L）μm | ||
重复精度 | ±1μm | |||
行程范围 | X和Y轴 | 100*100mm | ||
载物有效尺寸 | 90*90mm | |||
Z轴 | 80mm | |||
光栅显示分辨率 | 0.1μm | |||
照明系统 | 透射照明 | 同轴点光（白光） | ||
反射照明 | 环形光（白光） | |||
轮廓光 | 透过照明（绿光） | |||
点激光测量精度*4 | 最大孔深比 | 1.5 | ||
高度范围 | ±3.5mm | |||
精度 | ±2.0μm | |||
测量软件 | VisionPower | |||
最大测量速度 | XY | 30 mm/s | ||
Z | 75 mm/s | |||
外形尺寸(L×W×H) | 600×440×750mm | |||
重量 | 65kg | |||
承重 | 5kg | |||
工作电源 | 100-240VAC,50/60Hz,2A 功率 400W | |||
工作环境 | 温度10℃~35℃，湿度20~80%（无凝结） | |||
注：
*1在调焦位置，使用环境温度为+20±1.0℃时，测量标准线对分辨率板。
*2在调焦位置，使用环境温度为+20±1.0℃时，测量微纳米标准板。
*3在调焦位置，使用环境温度为+20℃±1.0℃时，测量微纳米标准板。
*4为Z轴机械精度，采用镜头聚焦测高的精度依赖于工件表面。
*5需选配光学高度测量传感测头。
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